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Sistema CVD de laboratorio con horno tubular rotatorio de doble zona 1500-1500C
El sistema CVD consta de sistema de suministro de gas + horno tubular + sistema de vacío, y la temperatura máxima puede alcanzar los 1200 grados, 1400 grados, 1600 grados y 1700 grados. La zona de calentamiento puede ser una zona de temperatura única, una zona de temperatura doble, una zona de tres temperaturas, etc. El vacío final puede alcanzar 10-3Pa. El sistema de suministro de gas puede ser un caudalímetro másico o un caudalímetro de flotador para la regulación del caudal. El número de canales de mezcla puede ser de 2 canales, 3 canales, 4 canales y 5 canales.
Parámetros técnicos detallados
Modelo | 1500-1500-I 1500-1500-II |
Energía | 9KW 9KW |
Tubo | Talla |
diámetro | 60(DE) X1400 mm Diámetro 80(DE) X1400 mm |
Suministro | Voltaje |
380V 380 V | Fase |
fase dual | Tubo |
Tubo de corindón: AIO de alta pureza | cerámica (incluida) 99,5% |
Calefacción | elemento |
Primero | zona de temperatura: varilla de carbono de silicio Segunda zona de temperatura: varilla de carbono de silicio |
Velocidad de rotación del tubo del horno | Con motor continuo de velocidad variable, |
la velocidad se puede ajustar entre (1-25 RPM) | Fuerza de motor 40W El horno se puede inclinar en un ángulo 0-30 grados tipo de unidad correa dentada y engranaje Control modo Instrumento de control de temperatura del programa UAV |
(estándar) | 1, control de temperatura del programa de 30 etapas Ajuste inteligente de PID. |
2. Con protección contra sobrecalentamiento, el eléctrico | El circuito de calefacción del horno se corta automáticamente cuando la temperatura es |
sobrecalentamiento o roto, (cuando la temperatura del horno eléctrico excede | 1520 grados o el termopar está fundido, el relé de CA del circuito principal |
se desconectará automáticamente, el circuito principal está roto. encendido, el encendido | La luz del panel está apagada, la luz de APAGADO está encendida y la protección limitada |
horno eléctrico). | 3, con interfaz de comunicación 485 (estándar |
al comprar software) | 4, con función de protección de apagado, que |
es, cuando se enciende la alimentación después de que se apaga, el programa | no parte de la temperatura inicial, sino de la temperatura del horno |
aumenta desde el momento del corte de energía. | 5, el medidor tiene la función de autoajuste de temperatura |
(usted necesita pagar extra para el reemplazo | de instrumentos importados, opcional) |
instrumento FP93 |
|
Instrumento EUROTERM | Pantalla táctil |
instrumento | (shimaden, Japón) |
Material del horno
1. Policristalino de alúmina de alta pureza y alta calidad
horno de curado de fibra formado por filtración al vacío.
2. Adoptar tecnología japonesa para moldear.
Control
precisión
+/- 1℃
Generar
desfasado
generar
Eléctrico
aparato
Zhejiang
chint
Silicio
revisado
106/16ESEMIKRON
los
temperatura más alta en la primera y segunda zona de temperatura
1500℃
Calificado
temperatura en la primera y segunda zona de temperatura
1400℃
Calefacción
Velocidad
≤20 ℃/ Min (se puede modificar según sea necesario)
Recomendado
tasa de aumento de la temperatura
≤10℃/minuto
Par termoeléctrico
S escribe la primera
zona de temperatura
S
escriba en la segunda región de temperatura
Longitud
de la sección de calentamiento en la primera y segunda zona de temperatura
300+300 mm 300+300 mm
Longitud de temperatura constante
450 mm 450 mm
Suministro de aire de tres canales Gx-3 (mixto
Sistema de aire
1.1. El gas sale del cilindro, es
despresurizado a través de una válvula reductora de presión, pasa a través del tubo de PTFE
a la entrada del sistema de suministro de gas, y luego pasa a través del flujo másicomedidor para controlar el flujo de gas, y luego pasa a través del tanque de mezcla de gas y
luego entra en la entrada del horno. 1.2. 2) | Un manómetro está conectado al tanque de mezcla de gas y el manómetro | El disco de visualización y el controlador del caudalímetro de protones están instalados en el mismo | |
panel. | 1.3. | ||
Cada línea de gas tiene una válvula de cierre de alta presión por seguridad. | 1.4. | ||
La ruta del gas adopta un medidor de flujo másico de gas de alta precisión, y el interior del | la ruta del gas está hecha completamente de tubería de acero inoxidable, que tiene buena corrosión | ||
resistencia. 1.5. | Todas las juntas de la caja están conectadas por virolas de acero inoxidable, que tienen | buena estanqueidad al aire y alta resistencia a la presión. | |
2. Parámetros técnicos: | Canal neumático: 3 | ||
Control de flujo de gases: | medidor de flujo de masa. | ||
Dimensiones del gabinete: | 600X600X600mm | ||
Medidor de flujo de masa | Parámetros técnicos: | ||
Interfaz: Φ6 | Pantalla: LED | ||
Temperatura ambiente de trabajo: 5~45°C | Controlador de flujo: | ||
Parámetros del controlador de flujo de protones Vuelva a consultar | Tubo de acero inoxidable: | ||
Φ6 fuera X Φ4 | Vacío de presión | ||
tabla: -0.1~0.15 MPa, 0.01 | MPa/división | ||
Válvula de parada: Φ6 Control de flujo: PLC control inteligente | 功率 | 3. Caudalímetro másico | |
电压 | Parámetros técnicos: | ||
转速 | Producto | ||
Nombre: controlador de flujo másico | Producto | ||
Descripción: Tipo normal, circuito analógico | 6 | ||
Producto | Detalles: ordinario, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de | ||
bloquear. Principal | indicadores: Rango: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (puede elegir el rango arbitrariamente) | |
• | Precisión: ±1% fondo de escala | ||
• | Lineal: 0,5% fondo de escala | ||
• | Repetibilidad: ±0.2% fondo de escala | ||
• | Tiempo de respuesta: 1S | ||
• | Caída de presión de aire: <0.01MPa | ||
• | Presión máxima: 3MP | • | |
Temperatura ambiente de trabajo: 5~45°C | • | ||
Señales de entrada y salida: 0~+5.00V | • | ||
Potencia: +15V 50mA -15V 50mA | • |
Dimensiones: 158*30*110
•
Peso: 0,9 kg