Sistema CVD de laboratorio con horno tubular rotativo de doble zona 1500-1500C

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Detalle del producto

Sistema CVD de laboratorio con horno tubular rotatorio de doble zona 1500-1500C

El sistema CVD consta de sistema de suministro de gas + horno tubular + sistema de vacío, y la temperatura máxima puede alcanzar los 1200 grados, 1400 grados, 1600 grados y 1700 grados. La zona de calentamiento puede ser una zona de temperatura única, una zona de temperatura doble, una zona de tres temperaturas, etc. El vacío final puede alcanzar 10-3Pa. El sistema de suministro de gas puede ser un caudalímetro másico o un caudalímetro de flotador para la regulación del caudal. El número de canales de mezcla puede ser de 2 canales, 3 canales, 4 canales y 5 canales.

Parámetros técnicos detallados

Modelo	1500-1500-I 1500-1500-II
Energía	9KW 9KW
Tubo	Talla
diámetro	60(DE) X1400 mm Diámetro 80(DE) X1400 mm
Suministro	Voltaje
380V 380 V	Fase
fase dual	Tubo
Tubo de corindón: AIO de alta pureza	cerámica (incluida) 99,5%
Calefacción	elemento
Primero	zona de temperatura: varilla de carbono de silicio Segunda zona de temperatura: varilla de carbono de silicio
Velocidad de rotación del tubo del horno	Con motor continuo de velocidad variable,
la velocidad se puede ajustar entre (1-25 RPM)	Fuerza de motor 40W El horno se puede inclinar en un ángulo 0-30 grados tipo de unidad correa dentada y engranaje Control modo Instrumento de control de temperatura del programa UAV
(estándar)	1, control de temperatura del programa de 30 etapas Ajuste inteligente de PID.
2. Con protección contra sobrecalentamiento, el eléctrico	El circuito de calefacción del horno se corta automáticamente cuando la temperatura es
sobrecalentamiento o roto, (cuando la temperatura del horno eléctrico excede	1520 grados o el termopar está fundido, el relé de CA del circuito principal
se desconectará automáticamente, el circuito principal está roto. encendido, el encendido	La luz del panel está apagada, la luz de APAGADO está encendida y la protección limitada
horno eléctrico).	3, con interfaz de comunicación 485 (estándar
al comprar software)	4, con función de protección de apagado, que
es, cuando se enciende la alimentación después de que se apaga, el programa	no parte de la temperatura inicial, sino de la temperatura del horno
aumenta desde el momento del corte de energía.	5, el medidor tiene la función de autoajuste de temperatura
(usted necesita pagar extra para el reemplazo	de instrumentos importados, opcional)
instrumento FP93
Instrumento EUROTERM	Pantalla táctil
instrumento	(shimaden, Japón)

Material del horno

1. Policristalino de alúmina de alta pureza y alta calidad

horno de curado de fibra formado por filtración al vacío.

2. Adoptar tecnología japonesa para moldear.

Control

precisión

+/- 1℃

Generar

desfasado

generar

Eléctrico

aparato

Zhejiang

chint

Silicio

revisado

106/16ESEMIKRON

los

temperatura más alta en la primera y segunda zona de temperatura

1500℃

Calificado

temperatura en la primera y segunda zona de temperatura

1400℃

Calefacción

Velocidad

≤20 ℃/ Min (se puede modificar según sea necesario)

Recomendado

tasa de aumento de la temperatura

≤10℃/minuto

Par termoeléctrico

S escribe la primera

zona de temperatura

escriba en la segunda región de temperatura

Longitud

de la sección de calentamiento en la primera y segunda zona de temperatura

300+300 mm 300+300 mm

Longitud de temperatura constante

450 mm 450 mm

Suministro de aire de tres canales Gx-3 (mixto

Sistema de aire

1.1. El gas sale del cilindro, es

despresurizado a través de una válvula reductora de presión, pasa a través del tubo de PTFE

a la entrada del sistema de suministro de gas, y luego pasa a través del flujo másico

medidor para controlar el flujo de gas, y luego pasa a través del tanque de mezcla de gas y

luego entra en la entrada del horno. 1.2. 2)	Un manómetro está conectado al tanque de mezcla de gas y el manómetro	El disco de visualización y el controlador del caudalímetro de protones están instalados en el mismo
	panel.	1.3.
	Cada línea de gas tiene una válvula de cierre de alta presión por seguridad.	1.4.
	La ruta del gas adopta un medidor de flujo másico de gas de alta precisión, y el interior del	la ruta del gas está hecha completamente de tubería de acero inoxidable, que tiene buena corrosión
	resistencia. 1.5.	Todas las juntas de la caja están conectadas por virolas de acero inoxidable, que tienen	buena estanqueidad al aire y alta resistencia a la presión.
		2. Parámetros técnicos:	Canal neumático: 3
		Control de flujo de gases:	medidor de flujo de masa.
		Dimensiones del gabinete:	600X600X600mm
		Medidor de flujo de masa	Parámetros técnicos:
		Interfaz: Φ6	Pantalla: LED
		Temperatura ambiente de trabajo: 5~45°C	Controlador de flujo:
		Parámetros del controlador de flujo de protones Vuelva a consultar	Tubo de acero inoxidable:
		Φ6 fuera X Φ4	Vacío de presión
		tabla: -0.1～0.15 MPa, 0.01	MPa/división
	Válvula de parada: Φ6 Control de flujo: PLC control inteligente	功率	3. Caudalímetro másico
		电压	Parámetros técnicos:
		转速	Producto
		Nombre: controlador de flujo másico	Producto
		Descripción: Tipo normal, circuito analógico	6
		Producto	Detalles: ordinario, circuito analógico, sello de goma, derivación tubular, no es fácil de
	bloquear. Principal	indicadores: Rango: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10	SLM (puede elegir el rango arbitrariamente)
		•	Precisión: ±1% fondo de escala
		•	Lineal: 0,5% fondo de escala
		•	Repetibilidad: ±0.2% fondo de escala
		•	Tiempo de respuesta: 1S
		•	Caída de presión de aire: <0.01MPa
	•	Presión máxima: 3MP	•
		Temperatura ambiente de trabajo: 5～45°C	•
		Señales de entrada y salida: 0~+5.00V	•
		Potencia: +15V 50mA -15V 50mA	•