un sistema de suministro de gas y un sistema de suministro de energía de radiofrecuencia. Principalmente

utilizado para: crecimiento de películas delgadas de metal, películas delgadas de cerámica, películas delgadas compuestas,

grafeno, etc. Es fácil agregar funciones y puede expandir funciones como

Limpieza y grabado con plasma. El sistema PECVD tiene las ventajas de alta película

tasa de deposición, buena uniformidad, alta consistencia y estabilidad.

técnico detallado

parámetros

Modelo

TL1600-I

Energía

5KW

Tamaño del tubo (DE) (mm)

Tubo de corindón de alta pureza: 60 mm (diámetro del tubo)

Se colocan dos tapones de horno a cada lado. los

el tapón del horno puede bloquear la radiación de calor en el centro del tubo del horno

y debe colocarse en la posición correcta en el horno antes de calentar.

Dimensión

1120X490X855

tensión de alimentación

220V

fase

fase única

elemento de calefacción

Barra de molibdeno de silicio modelo 1800

Tipo de control de temperatura

Usar

Instrumento de control de temperatura del programa Yudian (estándar)

1.

Programa de 30 segmentos control de temperatura ajuste inteligente PID.

2.

Con protección contra sobretemperatura, el circuito de calentamiento del horno eléctrico

se cortará automáticamente cuando la temperatura sea demasiado alta o cuando el

la pareja está rota. ENCENDIDO, la luz de ENCENDIDO en el panel está apagada, la luz de APAGADO está encendida,

y el horno eléctrico está protegido de forma limitada).

3.

Con interfaz de comunicación 485 (estándar con software opcional)

4.

Tiene una función de protección contra fallas de energía, es decir, cuando el horno está

encendido después de apagar la alimentación, el programa no se inicia desde el

temperatura inicial, pero comienza desde la temperatura del horno cuando la potencia

esta apagado.

5.El

El medidor tiene la función de autoajuste de temperatura.

(debe pagar extra por el reemplazo de importado

instrumentos, opcional)

Instrumento FP93                             Instrumento EUROTHERM                       Pantalla táctil

instrumento

(shimaden, Japón)

Material de la cámara

1. El material del hogar está hecho de alta calidad.

Fibra policristalina de alúmina.

2. La superficie del horno interior está recubierta con

revestimiento de alúmina de alta temperatura de 1800 grados importado, que puede aumentar la

emisividad y hacer que el campo de temperatura sea más equilibrado.

Válvulas y bridas

precisión de control

pantalla de visualización digital.

Adoptar

Bomba de vacío VRD16

VRD16

Termino tecnico

Especificación

VRD-16

Velocidad de bombeo m³/h（L/s）

potencia del motor (kilovatios)

0,75 kilovatios/0,55 kilovatios

Conexión de entrada/salidaDN

KF25

se utiliza el controlador de flujo, consulte la parte posterior