Sistema de vacío con bomba de vacío VRD16 para sistema CVD

I. Resumen

El sistema

(puede bombear el vacío en el horno tubular a 0,6 Pa) consiste en una brida de succión

(hecho a sí mismo) con interfaz KF25, método de deflector de alto vacío, vacío de resistencia

manómetro, fuelle, soporte (hecho en casa), bomba de vacío Conecte el tubo en T en el

salida de brida, conecte el silicio de resistencia a un extremo de la tubería de tres vías,

conecte la válvula de aleta de alto vacío al otro extremo, conecte la aleta

válvula y la bomba de vacío con la corrugación de Dia25, y use el KF25 rápido

abrazadera para el puerto de conexión. .

2. Sistema de detección de presión

Resistencia simple tipo ZDR-I/ZDR-I-LED

indicador de vacio

El vacuómetro de resistencia

(también conocido como el indicador de vacío Pirani) utiliza un ZJ-52T especialmente estabilizado

medidor de resistencia y aplica un nuevo modo de operación de temperatura constante al

Poder constante. Al mismo tiempo, el microprocesador se utiliza para controlar el

no linealidad de la regulación. Procesamiento lineal. tiene las caracteristicas

de rendimiento estable, amplio rango de medición, respuesta rápida y pequeña deriva. Y

control de relé basado en microprocesador potente y fiable, comunicación en serie

Salida, salida analógica de vacío y otras funciones. Particularmente adecuado para

medición y control de vacío bajo y aproximado de aplicaciones de vacío.

Parámetros técnicos:

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Regulación de distribución: Medidor de resistencia ZJ-52T

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Rango de medición: 10 5～10 -1 Pa

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Aislamiento óptico, filtrado digital, capacidad antiinterferente mejorada.

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